台積電去年節電5億度　完成1.3GW再生能源購置契約

台積電提供 （蕭文康／台北報導）

台積電（2330）統計，去年節電量約5億度，相當於減少25萬公噸二氧化碳排放，節省電費共台幣12.5億元，因減少排碳而降低的潛在外部碳成本約3.8億元。

台積電表示，去年購買約12.3億度再生能源，至去年底並已完成1.3GW再生能源購置契約，每年約當減少220萬公噸碳排放量。

台積電去年新增太陽能板裝置容量416千瓦，全公司再生能源總發電量463萬度，減少碳排放量2356公噸，相當於20萬棵樹一年的碳吸收量。台積電今年將再擴充太陽能裝置容量227千瓦，預計發電量可達576萬度。

台積電並以2030年全公司生產廠房25%用電量為再生能源、非生產廠房100%用電量為再生能源為努力目標。

另外，極紫外光是半導體微影製程中最新進的機台，台積電表示，EUV機台耗電量是深紫外光微影機台的10倍以上，透過大數據分析手法及機台改善，去年提升5%能源使用效率。

台積電指出，半導體技術日新月異，極紫外光技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影(DUV)機台的10倍以上。

為兼顧製程技術演進與環境永續，台積電攜手供應商積極投入「新世代機台節能行動專案」，其中針對EUV機台進行研究發現，傳送EUV光需要特殊的反射鏡，每一次傳送將損失3成能量，在機台內平均10次以上的反射過程，最後僅剩下少於2%的光能。

台積電運用大數據研析EUV光產生過程的耗能狀況及運作模式，發現EUV光產生的脈衝與反射鏡面反射效率是影響耗能的主因後，立即啟動相關機台改善措施。

台積電去年透過機台程式的修正，達到EUV光脈衝能量最佳化；同時，重新設計鏡面反射結構，有效增加3%反射率。

此外，台積電分析二氧化碳雷射系統放大器的運轉數據，發現利用變動頻率取代固定頻率的運作模式，可進一步強化放大器10%能源使用效率。

透過三管齊下的手法，台積電成功提升EUV機台5%能源使用效率，並將這綠色創新作為應用於3奈米的EUV新機台，積極落實節能減碳的社會企業責任。

隨著先進製程不斷演進及積體電路製程日益複雜，用電量同步增加，台積電不僅積極購買再生能源，同時投入資源開發綠色機台，並執行460項節能措施、導入新世代節能機台。

台積電積極落實「相同製程技術量產5年後，生產效能提升1倍」的製程生產能源效率提升計劃，透過擴展創新的節能措施、智慧節能設備及導入節能元件，10奈米及7奈米製程技術量產第4年的生產能效成功提升1.4倍，16奈米以上製程生產能效也提升1.8倍。